1、氣源要求：氣浮臺(tái)的供氣氣源必須是潔凈的，無(wú)水無(wú)油，固體顆粒應(yīng)小于0.2μm，壓力露點(diǎn)應(yīng)達(dá)到-20℃。為了確保氣源的潔凈度，應(yīng)定期使用三級(jí)過(guò)濾器進(jìn)行排水，并根據(jù)地域濕度的不同，實(shí)際情況檢查，可能需要周/月/季進(jìn)行檢查。三級(jí)過(guò)濾器應(yīng)豎直安裝，并定期檢查是否有油水的情況，如有，應(yīng)打開(kāi)過(guò)濾器底部開(kāi)關(guān)排出。

2、安裝與清潔：在安裝工件前，直線軸和轉(zhuǎn)臺(tái)負(fù)載臺(tái)面以及機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)安裝的工件平面度應(yīng)控制在3μm以內(nèi)，這要求使用無(wú)水乙醇進(jìn)行擦拭干凈后再進(jìn)行安裝。安裝螺釘時(shí)，無(wú)論是四角固定還是環(huán)形固定，都應(yīng)按照對(duì)角線的順序進(jìn)行安裝，先輕微上力，再逐步加力，并參考螺釘緊固力矩標(biāo)準(zhǔn)。

3、通電與通氣順序：轉(zhuǎn)臺(tái)在使用時(shí)，應(yīng)先通氣再通電，氣壓應(yīng)保持在0.5~0.6Mpa之間。關(guān)機(jī)時(shí)，應(yīng)先斷電再斷氣，以確保設(shè)備的正常運(yùn)行和安全。

4、精度與維護(hù)：氣浮位移臺(tái)在使用過(guò)程中，應(yīng)注意保持其精度指標(biāo)，如定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平面度等。此外，定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)和檢查，確保其處于良好的工作狀態(tài)。